半導体ウェットプロセスの薬液測定に最適です。導電率を測定し、工程中の濃度管理や薬液の希釈管理、また超純水のリサイクル監視などにも最適です。
耐薬性・耐圧性に優れたセンサー
特殊電極を採用することで・薬液処理後のDIW Rinceの導電率値測定や循環ラインでの測定に最適です。
金属コンタミフリー
特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。
豊富な温度補償機能
超純水の温度特性(基準温度25℃)、Nacl温度特性、基準温度と温度補償係数から選択できるので、測定液に応じた温度補償が行えます。