濃度監視システム CS-600F

温度測定用化学

洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液を測定する光ファイバ式薬液濃度モニターです。 最先端ウェットプロセスに必要不可欠な高温薬液のダイレクト測定を実現。“迅速・安定・省スペース”を実現し、薬液管理の効率化・高精度化が可能です。 高温薬液の安定測定 優れた光学系、演算処理により、ふらつきがちな高温薬液（20～80℃）の安定したダイレクト測定が可能です。また、ユーザー側での薬液の冷却を必要としません。 最大6薬液種（薬液またはレンジ）に対応 1台のモニターで最大6薬液種（薬液またはレンジ）の測定が可能です。測りたい薬液種やレンジを自由に指定できるので、測定ニーズに幅広く対応します。 レイアウトフリー 光源ユニットとモニター本体を分離設置が可能なので、薬液供給ユニットや洗浄装置の設置スペースに合わせた自由な配置が可能です。 装置ダウンタイムの低減 インライン測定でのバックグラウンド補正の頻度が低くなることで、装置のダウンタイムを大幅に低減し、スループットの向上に大きく貢献します。