濃度監視システム SLIA-300

測定用水用コンパクト

半導体／FPDプロセスにおいて製品精度や歩留まりに大きな影響を与える、超純水中のシリカ濃度。その1μg／L(１ppb)オーダーの測定要求に確実にお応えします。デスクトップ型のコンパクトボディで、測定範囲全域における高感度測定を実現しました。高速応答性や自己診断機能など、充実の基本性能と高感度な新性能で、半導体／FPD製造の純水プロセスを力強くサポートします。 高感度で､しかも高い繰り返し性 独自の新開発セルにより、低濃度に対応する高感度化を実現。 高速5分測定で、0～2μg／Lレンジにおいて、フルスケール±2％の繰り返し性を保証しています。 デスクトップ型のコンパクト設計 新開発セルにより画期的なコンパクト設計を実現。デスクトップ型なので小さなスペースをはじめ様々な設置条件に対応可能。移動式としての使用も可能になりました。 試薬の消費量を1／5に削減 改良型反応セルの採用により、試薬の消費量を従来の1／5に低減。試薬のランニングコストを大幅に削減できます。 最大6点までの測定が可能 (オプション) 測定ポイントは1～6点まで任意に設定できます。一台でより多くの多点計測をサポートします。 動作異常を監視する自己診断機能 試料水や試薬の注入、校正異常、セル内温度モニタ、光源異常など動作の異常を自己診断。エラーがあれば警報ランプ表示とともに文字表示でもメッセージを送ります。 交換不要の半永久的光源を採用 光量が安定し寿命の長い単色性の半導体光源を採用。 半永久的な光源として使用できます。