導電性測定器 HE-960LF

耐薬品性の高いフラットカーボンセンサーを採用したスラリーの濃度管理に最適な導電率計です。 適切な導電率値を維持することで、スラリーの希釈具合を一定に保ち、ウェハ研磨工程の安定化に貢献します。 高い安定性 測定レンジは0～2,000μS/cmおよび0～10,000μS/cmであり、繰り返し性はそれぞれ±0.5% F/Sおよび±1.0% F/Sと高い安定性を備えています。 金属コンタミフリー 特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。 濃度換算機能 薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。