熱式質量流量計 D700WR

質量ガス用デジタル

D700WRは、CRITERION™技術に基づく高精度な性能で、広範囲な制御アプリケーションのために特別に設計された新しいリストリクタを設置します。D700WRは、ユーザーがガス供給システムの柔軟性を最適化するのに役立つ、フルスケール範囲の0.1%まで流量を制御することができます。例えば、大流量と小流量の制御用に複数のMFCを設置する場合、ユーザーはMFCの数を減らし、同じ位置の別のMFCを別の目的に使用することができます。 0.1～100% のワイドレンジ制御と低流量での高精度を実現 プロセスの最適化、柔軟性を提供します。 500ミリ秒以下の高速応答 高い生産性とプロセス性能の向上を実現します。 ゼロ故障の堅牢なCIP圧力センサー 量産におけるダウンタイムと工数を削減します。 PFAノズルによる10倍以上のバルブ遮断性と耐摩擦性 ダウンタイムの短縮と歩留まりの最適化を実現します。 ステートモニター機能 より多くの内部データを提供し、よりスマートな故障予測を可能にします。