熱式質量流量計 SEC-Z700S

質量ガス用コンパクト

マルチパターニングが増える最先端の半導体プロセスにおいて、マスフローモジュールの性能は半導体製造装置のパフォーマンスに大きく影響します。流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-Z700S SeriesがAtomic Levelのエッチング、成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。 流量精度 ±1％S.P.保証(設定流量5〜100％F.S.(N2)) ワイドレンジ制御 低流量域0.5％F.S.まで制御可能 バルブシャットオフ性能 フッ素樹脂(PFA)を採用(Bin#01〜#04) 全閉時流量0.1％F.S.以下 Tunable response機能 調整可能範囲0.3秒以上 1秒以下 動作可能温度 使用可能温度15〜60℃ 性能ばらつきの低減 繰り返し性±0.15％S.P.以内(設定流量5〜100％F.S.) 流量応答時間450±30ミリ秒 ゼロ点安定性 ±0.3％F.S./年以内 MRMG番号(Bin#) 10SCCM〜50SLM F.S.まで9仕様で対応