温度質量流量分配器 FS-3000

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。 拡張性/メンテナンス性の向上 マスターコントローラとマスフローコントローラで構成されており、最大15分岐まで拡張が可能です。 マスフローコントローラ単体の交換ができるため、メンテナンス、仕様変更、修理が容易です。 幅広い流量レンジに対応 マスフローコントローラの組み合わせにより、低差圧から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。 面内均一性によるウェハの品質向上 同じ濃度のガスをフロースプリッタで分岐することにより、ウェハの面内均一性を向上させることができ、品質向上に貢献します。