質量流量調節器 GR-511F

ガス用

静電チャック方式で固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御することができます。 GR-511Fは、安定性と精度の高さから、ウェーハ冷却システムにおけるヘリウムやアルゴンの流量制御に最適な装置です。 特長 より安定した精度の高い圧力制御 マスフローセンサー搭載（オプション） 各種フィッティングに対応 RoHS指令対応 応用例 GR-511Fは、静電チャック装置で固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御している例である。