分光分析器 QL series

ガス監視用スペクトル

MICROPOLEシステムは最小の質量分析システムの一つであり、設置が容易です。このシステムは多くのチャンバー特性評価アプリケーションに理想的なソリューションであることが証明されています。コンパクトなサイズは、特許取得済みの四重極マスフィルターのミニチュアアレイの設計によって実現されています。このシステムは従来のシステムよりもはるかに高い圧力で作動することができるので、追加のディファレンシャルポンプ装置の必要性が減少します。 特徴 超小型・軽量 従来の残留ガス分析計と比較して1/20のサイズで、どのようなシステムにも簡単に組み込むことができます。 高性能 9個の小型四重極アレイにより、従来の四重極の数分の一の体積で優れた感度を実現 高圧動作 0.9Pa（7mTorr、9×10-3mbar）まで使用可能で、多くのアプリケーションで高価な真空ポンプを削減または不要にできます。 交換可能なセンサーヘッド センサーヘッドは出荷前に調整・校正されているため、ユーザーは微調整や専門知識を必要とせず、現場でセンサーを変更することができます。 ネットワークセンサー RS-485を使用して、1台のPCで最大8個のセンサーをモニターできます。外部I/OによるPCレススキャンも可能です。 使いやすいソフトウェア Micropole Scanner™ 2ソフトウェアは、トレンドグラフ、スペクトルグラフ、バーグラフなど様々なモードでガスの分圧をモニターすることができます。