絶対圧力計 VG-200S

アナログダイアフラム

プロセス中の圧力計測は、半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽光発電パネル、ハードディスク、コーティング等の多くの産業で必要不可欠な技術です。キャパシタンスマノメータはダイアフラムと呼ばれる隔膜の両側の圧力差から生じた変位量を対抗電極との静電容量で計測し圧力に換算します。他の圧力計測方法と比べて、キャパシタンスマノメータは下記の特徴を有します。 絶対圧力計測 高精度・優れた安定性 ガスの種類に依存しない計測 HORIBAのキャパシタンスマノメータ VG-200Sは、自己温調型では最小クラスの隔膜式真空計。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。 自己温調型で最小クラス 独自の電極構造により高精度・高安定を実現 ダイヤフラムを含む接ガス部にSUS316Lを採用 非加熱、55℃温調、100℃温調を選択可能 ワンプッシュRe Zero 供給電源　±15VDC、24VDC 対応 CE、RoHS 対応