粒子検出器 PD Xpadion

は、光学/ステージ設計、さらに基幹ソフトウェアを含むすべてのプラットフォームを一新。分析計の高い稼働率と長期安定性はそのままに、操作性を大幅に向上しました。信頼性の高い光学系による「スキャン」、新規機能を加えた「レビュー」、革新的なセンサーとの組み合わせによる「アナライシス」といったオートメーションへの拡張機能を強化し、Smart Factry対応を実現します。 光学系の組み合わせによる検出感度の変更 OHT、EFEM、マルチポート、マルチスロット対応 検査データを再解析し検査レシピをスピーディに最適化 HORIBAが有する各種センサーとの連携も可能 (ラマン分光、エリプソメトリー等)