熱式質量流量計 D700uF

ガス用PFA製

D700Tは、クリティカルな半導体製造プロセス用に設計されたベストパフォーマンスマスフローモジュールです。圧力ベースの流量計測・制御技術を採用しており、業界をリードする再現性と正確なパフォーマンスを提供します。さらに、独創的な特許登録済みの高度な流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載しており、ガス供給システムが抱える複数の課題を解決することが可能です。 全流量域で100 ミリ秒以下の応答性(立ち上がり、立ち下がり、設定値から設定値) 自己診断 Multi Diagnosis 機能(特許登録済み) Pressure Insensitive 機能の向上 高い流量精度(±0.8 %S.P.)と再現性(±0.15 %S.P.) 広範囲の環境温度に対応(15〜60℃)