HP 410は、金属ダイアフラム構造のシングルステージ圧力レギュレーターです。
高純度ガス用の中央ガス供給システムの第2段として使用されます。
圧力調整器には、標準として使用圧力を示すゲージが付属します。
この圧力調整器は、当社の遮断弁HP 502および計量弁HP 503と組み合わせることができます。この圧力調整器は、ガス供給ステーションHP 400、HP 401、HP 402、HP 403で使用されます。
特に純度6.0まで要求の高いガスに適しています。
HPシリーズ用の特殊洗浄システムは、ECD用途での使用も保証します。
---