HP 411は、金属ダイアフラム構造の1段式精密圧力レギュレーターです。
高純度ガス用の中央ガス供給システムの第二段として使用されます。
圧力レギュレータには、使用圧力を示すゲージが標準装備されています。
精密ポイント・オブ・ユース・レギュレーターHP 411は、1 bar以下の圧力で非常に優れた制御性能を発揮します。
この圧力レギュレーターは、シャットオフバルブHP 502および計量バルブHP 503と組み合わせることができます。この圧力レギュレーターは、ガス供給ステーションHP 400、HP 401、HP 402で使用されます。
特に純度6.0まで要求の高いガスに適しています。
HPシリーズ用の特別な洗浄システムは、ECD用途での使用も保証します。
精密ポイント・オブ・ユース・レギュレーターHP 411は、特に以下の分野で使用されます:
- プロセスエンジニアリング
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