動作位置決めモジュール AM

IKOアライメントモジュールAMは、精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合せて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。 高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をする事なくアライメントステージを構成できます。