波面センサー HASO EUV

HHG、シンクロトロン、EUV-FEL、次世代リソグラフィー HASO EUVは、超短波ビームの特性評価、調整、アライメントに卓越した品質、精度、使いやすさを提供します。 - HHG、シンクロトロン、EUV-FELのビームアライメントとキャラクタリゼーション - ビームラインにおけるミラーアライメント、ベンダーの最適化 - 安定性評価 - シュヴァルツシルト望遠鏡のアライメントと特性評価 - ゾーンプレースの特性評価 - プラズマ科学 WAVEVIEW計測ソフトウェア、150の機能を含む + PSF、MTF、ストレイル比のための拡張機能 + オプションのSDKを使用したインターフェイス WAVETUNE Adaptive Opticsソフトウェア + AOアプリケーションのための拡張機能 + 任意のカスタムシステムと連動させるためのオプションのSDK Windows10対応