凹面ミラー SHARPeR

高精度

SHARPeRは、シンクロトロンビームライン、EUVリソグラフィ・システム、望遠鏡などに必要とされる、極めて高品質の光学部品のための新しい高精度自動測定プラットフォームの開発を目指すEurostarsプロジェクトです。 メートルスケールのX 線ミラーは、50nrad rmsよりも優れた傾斜誤差の精度で特徴付けられます。 このシステムには、3つの主要な要素が含まれます。 • 回転段とチップチルトステージを備えた安定性と再現性の 高いモーションプラットフォーム • λ/1000 rmsの絶対精度を備えた高精度ウェーブフロントセンサー • 高精度の結果を得るための高度なステッチアルゴリズム 新しい超高精度 Shack-Hartmannウェーブフロントセンサは、2Dスロープ/高さマップを提供するために、専用のモーションプラットフォームと組み合わせた光学ヘッドに統合されています。 テスト対象のサーフェスは、実際に使用される構成に合わせて水平または垂直に向けることができます。 お客様は、縦方向（走査方向）と横方向の走行範囲の両方を指定して、特性領域の範囲を広げることができます。 必要に応じて、回転軸とチルト軸をモーションシステムに追加できます。 これにより、手動による干渉によって測定環境を乱すことなく、テスト中の光学部品を自動的に反転させることができます。