ウェハー用計量システム MESO™

半導体用

MESO計測ソリューション MESO計測システムは、光学計測における多くの課題を解決するワンストップソリューションです。製造現場での測定は、製造ラインのすぐそばで、平面光学部品の品質管理試験とその場での工程管理を確実にします。 ユニークな装置により、色収差のない複数の異なる波長での測定が可能で、分解能を損なうことなく光学部品の全領域を特性評価することができます。 MESO™には革新が詰まっています： - LIFTにより強化された高い波面分解能 - POP-平面平行（薄型）光学部品の検査手順（特許出願中 - Spot Tracker™ 独自技術により、傾きと波面の絶対測定が可能。 主な特徴 振動の影響を受けない 設計波長での検査が可能 サンプル裏面からの反射に鈍感 アプリケーション MESOは、以下の用途に最適な検査ツールです： 平行光学系 スクリーン フィルター、ダイクロイック ミラー ビームスプリッター 窓 基板 コーナーキューブ 結晶 ロッド、ディスク ガラスウェハー ディスプレイ 機械加工表面 フロントガラス プリズム 大型レンズ 光学システム ビーム・エクスパンダ MESO計測システムの主な仕様 水平または垂直統合 光学ズーム：1.5インチ（38.1mm）から6インチ（152mm）まで テスト波長 405 nm～820 nm 680 x 500 位相点分解能 最小取得時間27us 主な仕様 タッチスクリーン・インターフェイス・コントロール スクリプト化された試験手順により、すべてのステップをガイド 最大4つの埋め込み波長を自動制御 試験直径の自動制御 完全な自動試験レポート ISO10110規格準拠 マルチフォーマットのデータエクスポート