単一センサー分析器 Semion

プラズマ反応器プロセス減速電界

セミオンシングルセンサは、リターディングフィールドエネルギー分析装置（RFEA）です。 プラズマ反応器内の任意の場所に配置され、単一の測定センサを使用して表面に当たるイオンのエネルギーを測定します。 このリターディングフィールドアナライザ（RFA）は、イオンエネルギー分布関数を測定する基本的なプラズマ診断で、イオンフラックス、負イオン、温度、バイアス電圧（Vdc）も測定します。 セミオンシステムは、その場でのプロセス監視、モデルの確認、新しいプロセスの開発と基板位置でのリアルタイムでの研究アプリケーションの開発を可能にします。 セミオンは、リターディング電位分析装置とも呼ばれ、イオンエネルギーを測定し、プラズマ反応器内の基板位置にイオンエネルギー分布関数（IEDF）、イオンフラックス、マイナスイオンイオン、温度およびVdcを生成します。 セミオン・リターディング・フィールド・エネルギー・アナライザ（RFEA）は、プラズマ・エッチング、コーティング、プラズマ・スパッタリング、PECVD、イオンビームなど、業界や研究の多くの分野で広く使用されています。 Semion Single Sensorは、モデルを確認し、プラズマ、プラズマ工具の設計、プラズマ研究を用いた新しいプロセスの開発と実験を支援する主要なプラズマ診断装置です。 Semion Single Sensor リターディングフィールドエネルギーアナライザは、交換可能なボタンプローブセンサーをセンサーホルダーに取り付け、真空フィードスルーに接続します。このセンサーは、19インチラック取り付け電子機器によって駆動されます。