単一センサー特性評価装置 Vertex

プラズマイオンエネルギー配給

頂点単一センサは、プラズマ反応器内の表面に当たるアスペクト比の関数としてイオンエネルギー分布を測定します。 この独自のプラズマ特性評価装置は、イオンエネルギー、イオンフラックス、バイアス電圧を測定することもできます。 フィーチャーの底部に当たるイオンの角度は、アスペクト比の関数としてイオンエネルギー分布から決定できます。これにより、プラズマ反応器内の所定の位置でエッチングプロファイルの品質を監視できます。 頂点単一センサは、プラズマ内の表面におけるアスペクト比、イオンエネルギー、イオンフラックス、マイナスイオンおよびVdcの関数としてイオンエネルギー分布を測定します。 Vertex Single Sensorは、プラズマエッチング、イオンビーム、プラズマ特性評価やプラズマ相互作用解析のためのプラズマスパッタリングなど、業界や研究の多くの用途で使用されています。 Vertex Single Sensorは、モデルの確認、新しいプロセスの開発、プラズマ、プラズマ工具の設計、プラズマ研究を用いた実験において貴重な時間を節約します。 Vertex Single Sensorは、19インチのラックに取り付けられた電子機器、真空フィードスルー、プラズマチャンバ内の任意の場所に配置されたセンサホルダに収容されています。 この位置は、RFまたはDC 電源の電極でも可能で、交換可能なボタンプローブセンサーを使用できます。 エレクトロニクスユニットはラップトップまたはPCに接続し、Vertexインテリジェントソフトウェアスイートを使用します。 Vertex Single Sensorには、50mm ～ 450mmのホルダーオプションが数多く用意されており、ユーザーアプリケーションによって異なります。 50mmセンサを選択し、センサを物理的に移動して、異なるチャンバ位置で測定することができます。