比率測定システム Quantum

イオン/ 中性物質プラズマ反応器

Quantumのエネルギーによって解決されるgridded水晶の微量はかりは時々血しょうリアクターの中の表面に当っているニュートラルへのイオンの比率を測定する独特な器械呼んだイオンを中立一部分とである。 この最先端の器械はまた溶着速度、イオン エネルギー、イオン変化およびバイアス電圧を測定する。 偏りのあるならば表面で、着いているニュートラルとイオン間の比率はまたは基づかせていてこの起工システムによって今測定可能である。 Quantum単一センサーは血しょうリアクターの中の表面で着くイオン中立一部分か変化イオン化一部分を測定する。それはまた血しょうリアクターの中のあらゆる位置で溶着速度、イオン エネルギー、イオン変化およびバイアス電圧を測定する。Quantum単一センサーかgridded水晶の微量はかりは血しょう沈殿、コーティング、血しょう、PECVD、エッチング放出させることおよびイオン ビームのような企業そして研究を渡る多くのセクターで広く利用されている。Quantum単一センサーは変化イオン化一部分を、ずっとほとんどの血しょう塗布で重大であるが、提供したりこれまでのところ達成し非常ににくい測定。イオン化比率は新しいプロセス、確認の新しい調理法およびモデルの研究の適用を見つけ、新しいツールおよび血しょうプロセスの開発で使用することができる。