Octiv VIプローブシステムは、インライン RF 電圧、電流、位相角測定システムです。 この製品は、1 % の精度と1μsの時間分解能で、単一の基本周波数とその高調波を測定することができます。 各システムにはドロップダウンメニューがあり、5つの基本周波数から選択できます。
電圧、電流、位相角、インピーダンス、高調波を測定し、PCから測定することも、メーターユニットに直接表示することもできます。
Octiv VIプローブシステムは、ユーザーが5つのドロップダウンメニューから単一の基本周波数を選択し、測定された各パラメータのすべての高調波情報を抽出することができます。
Octiv VIプローブは、通常マッチユニットの後に座る単一周波数インピーダンスセンサーです。 プラズマプロセスなどのアプリケーションの負荷インピーダンスを測定するために使用されます。 単一の基本周波数の電圧、電流、位相とその高調波をモニタします。 Octiv VIプローブは、単一プラズマシステムの正確な監視に最適です。
オクティブVIは5つの基本周波数に較正されています:2メガヘルツ | 13.56メガヘルツ | 40.68メガヘルツ | 60メガヘルツと0から12キロワットの電力範囲を有します。
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