電圧測定器 Octiv Poly 2.0 VI Probe

AC電流インピーダンスRF

Octiv Poly VIプローブは、多周波数のインラインRF 電圧、電流、位相測定システムです。 複数の基本周波数とその高調波を同時に測定でき、1μsの時間分解能で 1% の精度を持ちます。 VIプローブは、最大 5つの基本周波数とそのすべての成分（電圧、電流、位相角、高調波）を同時に検出して測定できます。 VIプローブは電圧、電流、位相、インピーダンス、高調波を測定し、PCから測定することも、メーターユニットに直接測定することもできます。 Octiv Polyシステムでは、多数の基本周波数を測定し、同時に測定された各パラメータのすべての高調波情報を抽出することができます。 Octiv Poly VIプローブは、通常、マッチング後ユニットに設置される高精度パワーおよびインピーダンスセンサです。 プラズマプロセスなどのアプリケーションの負荷インピーダンスを測定するために使用されます。 複数の基本周波数とその高調波の電圧、電流、位相をモニタします。 Octiv Poly VIプローブは、デュアル周波数およびトリプル周波数プラズマシステムの正確な監視に最適です。 オクティブポリは、0 ～ 12kWの電力範囲を有し、5つの異なる周波数でキャリブレーションされています：2メガヘルツ | 13.56メガヘルツ | 27.12メガヘルツ | 40.68メガヘルツ | 60メガヘルツ。 システムは周波数アジャイルであり、他の周波数帯を検出することができます。 Octiv Polyは、高精度、高解像度センサと高速データ収集ユニットを組み合わせたものです。 Octiv Polyは、パルス・アプリケーションでマイクロ秒の分解能を持つ唯一の高精度パワーおよびインピーダンス・センサーです。 Octiv Polyは、特許取得済みの独自のVIプローブ技術を使用し、アジャイル周波数チューニングによる同時多周波数アプリケーションでの信頼性の高い動作を実現します。