電圧測定器 Octiv Suite 2.0 VI Probe

AC電流インピーダンスRF

Octiv Suite RF 診断（VIプローブ）は、インライン RF 電圧、電流、位相、高調波、プラズマ診断システムです。 RFパワーのすべてのパラメータを測定し、個々の部品に分解し、複数の基本周波数の波形を同時に再構成することができます。 また、RF 電極をセンサとして使用することにより、イオン流束などのプラズマパラメータを測定することができます。 それはプラズマ反応器への電力供給に来るとき、Octiv Suiteは本当に独自のクラスです。 Octiv Suiteは電圧、電流、位相、インピーダンス、高調波を測定し、測定はPCから表示することも、メーターユニットに直接表示することもできます。 Octiv Suite RF 診断（VIプローブ）システムは、多数の基本周波数を測定し、同時に測定された各パラメータのすべての高調波情報を抽出し、複数の波形を再構築 することができます。Octiv Suiteは、 科学者は、プラズマプロセス性能などの分野におけるRFパラメータの複雑な相互依存性を評価します。 Octiv Suiteは複雑な波形を測定して表示します。 ソフトウェアは、波形を構成するすべての複雑な部品の電圧、電流、位相などの主要なRFパラメータを抽出して解析します。 Octiv Suite RF 診断（VIプローブ）は、イオンフラックス、プラズマ抵抗、非線形シースインピーダンスなどのプラズマパラメータを診断するために使用できます。 Octiv Suiteは、複数の基本周波数、高調波、相互変調成分を持つ非線形負荷を特徴付けます。