分光器 Moduli | RF Spectrometer

モジュリ | RF分光器 非侵襲的故障検出およびチャンバ健全性モニタリング RF分光器は、プラズマチャンバの外部からプラズマの電気状態を直接監視する無線周波数（RF）検出器です。 これは、RFパスにインラインセンサを必要とせずに、生産ツールの故障検出用に設計されています。 空気漏れ、ウェハ変位、その他の重大なプラズマ障害を検出することが証明されています。 RF分光器は、プラズマチャンバの外部からプラズマの電気状態を直接監視する無線周波数（RF）検出器です。 これは、RFパスにインラインセンサを必要とせずに、生産ツールの故障検出用に設計されています。 空気漏れ、ウェハ変位、その他の重大なプラズマ障害を検出することが証明されています。