密閉構造と高耐久性ステンレススチールストリップカバーにより、クリーンルーム仕様を実現。アクチュエータ本体は無電解メッキ仕上げで耐食性に優れています。アクチュエータには真空吸引ポートがあり、可動部から発生する粒子を排出します。これらのリニアアクチュエータは、209Eクリーンルーム分類とクラス10 VDI 2083-8規格に適合しています。
ストローク mm: 100 - 800
ボールねじリード mm: 5, 10, 16
モーターマウントサイズ Nema17, Nema23, M60
モータータイプ ステッパーサーボ/エンコーダー 4000ppr
繰り返し精度ミクロン: ± 5
精度ミクロン/mm: 20 / 300
荷重kg:75
速度 mm/sec:160(ステッパー) 320(サーボ)
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