- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- XY軸ポジショニングステージ
- IntelLiDrives, Inc.
XY軸ポジショニングステージ XY-OF-UL-280x280+ACR260UT回転2軸オープンフレーム
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特徴
- 方向
- XY軸, 回転
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- オープンフレーム, ウェハー運搬用
- ストローク
280 mm
(11.024 in)- 速度
400 mm/s, 800 mm/s
詳細
開けフレームの控えめなX-Y回転式段階は半導体の製造工業のウエファーの処理および他の多くの自動化された正確な位置の適用のために設計した。 単位の側面にあるX-Yドライブメカニズムおよび回転式テーブル穴による大きい中心は両側からのウエファーへの明確なunobstrucedアクセスを提供する。
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