平面モーター付き円テーブル PSR-200MHS

横型工作機械用コンパクト

Planar ServoRing回転テーブルは、優れた角度位置決めを提供し、ウォーム、ギア、ベルトドライブに関連するバックラッシュ、摩擦、摩耗の問題を排除するように設計されています。Planar ServoRingステージの低メンテナンスと高スループット特性は、最低の総所有コストを実現します。 コンパクトなパッケージとPlanar ServoRing回転ステージの優れた設計は、ステージの高さを最小限に抑えるために最適化されました。ステージの薄型化により、システムの総作業高さを低減します。アンギュラコンタクトベアリングを採用し、ふらつき、モーメント剛性、フリクションの性能を最大限に引き出します。ULTRATHINサーボリングステージは、エアまたはワイヤーラインのフィードスルーまたはビーム伝送に使用できる大きなクリアセンターアパーチャーを備えています。 プラナーサーボリングは、ダイレクトドライブ3相プラナーブラシレスモーター技術を採用しています。ブラシを交換したり、ギアトレインやベルトをメンテナンスする必要がありません。「ローコグ」磁気設計により、スムーズな回転とダイナミックな性能を保証します。低慣性とゼロバックラッシのPlanar ServoRingは、頻繁な方向転換を必要とするアプリケーションに理想的なソリューションです。 MHSタイプの非接触エンコーダにより、正確な位置決めが保証されます。モータとロータリエンコーダを直接結合し、カップリングのバックラッシュを排除しています。MHSエンコーダは、PSR300で5秒、PSR200で8秒の精度を実現します。 半導体アセンブリ 電子機器組立 精密工作機械 ロボットハンドラ ウェハー処理 オートメーション