Planar ULTRATHIN ServoRing回転テーブルは、優れた角度位置決めを提供し、ウォーム、ギア、ベルトドライブに関連するバックラッシュ、摩擦、摩耗の問題を排除するように設計されています。Planar ServoRingステージの低メンテナンスと高スループット特性は、最も低い総所有コストを実現します。
コンパクトなパッケージと優れた設計のPlanar ULTRATHIN ServoRing回転ステージは、ステージの高さを最小限に抑えるために最適化されました。ステージの薄型化により、システムの総作業高さを低減します。アンギュラコンタクトベアリングの採用により、ふらつき、モーメント剛性、フリクションの性能を最大限に引き出します。ULTRATHINサーボリングステージは、エアまたはワイヤーラインのフィードスルーまたはビーム伝送に使用できる大きなクリアセンターアパーチャーを備えています。
ULTRATHINサーボリングは、ダイレクトドライブ三相ブラシレスモータを採用しています。ブラシの交換やギアトレイン、ベルトのメンテナンスが不要です。「ローコグ "磁気設計により、スムーズな回転とダイナミックな性能を保証します。
非接触式エンコーダーにより、正確な位置決めが保証されます。モーターとロータリーエンコーダは直接結合されており、カップリングのバックラッシュがありません。低慣性とゼロバックラッシのPlanar ULTRATHIN ServoRingは、頻繁な方向転換を必要とするアプリケーションに理想的なソリューションです。
半導体アセンブリ
エレクトロニクスアセンブリ
精密工作機械
ロボットハンドラ
ウェハー処理
オートメーション
---