XY軸ポジショニングステージ XY-65-10X10AUT

リニア サーボ モーター2軸顕微鏡

リニアモータとミクロン級リニアエンコーダを備えた薄型、ショートストロークXYステージ ストローク（mm） 10x10 繰り返し精度（µm） 0.5 分解能（µm） 0.5 負荷容量 (kg) 2.5 速度（mm/sec） 500 駆動方式 ダイレクトドライブ モーター リニア、コアレス、サーボ サイズ（mm） - 65x65 高さ（mm） - 15