超薄型サーボリング回転テーブルは、優れた角度位置決めを提供し、ウォーム、ギア、ベルトドライブに関連するバックラッシュ、摩擦、摩耗の問題を排除するように設計されています。アキュリングステージの低メンテナンスと高スループット特性は、最小の総所有コストを実現します。
AccuRing回転ステージのコンパクトなパッケージと優れた設計は、ステージの高さを最小限に抑えるために最適化されました。ステージの薄型化により、システムの総作業高さを低減します。アンギュラコンタクトベアリングを使用することで、ぐらつき、モーメント剛性、摩擦の面で最大限の性能を発揮します。アキュリングステージは、エアまたはワイヤーラインのフィードスルーまたはビーム伝送に使用できる大きなクリアセンターアパーチャーを備えています。
AccuRingは、ダイレクトドライブ3相平面ブラシレスモーター技術を採用しています。ブラシを交換したり、ギアトレインやベルトをメンテナンスする必要がありません。コアレス磁気設計により、スムーズな回転とダイナミックな性能を保証します。
非接触エンコーダにより、正確な位置決めが保証されます。モーターとロータリーエンコーダは直接結合されており、カップリングのバックラッシュを排除しています。低慣性とゼロバックラッシにより、AccuRingは頻繁な方向転換を必要とするアプリケーションに理想的なソリューションです。
半導体アセンブリ
エレクトロニクスアセンブリ
精密工作機械
ロボットハンドラ
ウェハー処理
オートメーション
---