幅広い自動高精度位置決めアプリケーション用に設計されたロープロファイルのオープンフレームXYステージ。
ユニットの側面に配置されたリニアモーター駆動機構は、光または物体が移動中心を通過することを可能にするために、遮るもののない明確な2軸開口部を提供します。
1ミクロンの分解能を持つ精密リニアエンコーダを搭載したXYテーブル
ストロークXY:mm 200x200
絞り:mm 200x200
テーブルトップ : mm 380x380
高さ : mm 140
精度:ミクロン10
バックラッシュ:ミクロン0(リニアモーター/エンコーダー
真直度:ミクロン10
分解能:ミクロン0.5、1.0
モータータイプ. リニアモータ/エンコーダ(オプション)
繰り返し精度:ミクロン1(リニアモーター/エンコーダー
耐荷重:kg 10
テーブル重量:kg 15
最高速度:mm/sec 600(リニアモータ
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