顕微鏡をベースとしたアプリケーションでの幅広い自動高精度位置決めのために、ロープロファイルで設計されたオープンフレーム800×8000mmのXYステージ。駆動機構はユニットの側面に配置されており、光や物体が移動中心を通過できるように、2軸の開口部が明確に遮られていません。
ストローク XY - mm - 600x600
スクリューリード mm 4
絞り mm 800x800
テーブルトップ mm 1,000×1,000
高さ mm 110
バックラッシュミクロン10
真直度ミクロン40
分解能(翻訳) ミクロン 1
モータNEMA23ステッパ、ステッパ/エンコーダ、サーボ/エンコーダ
反復性 ミクロン <10
耐荷重 kg 50
テーブル重量 kg 60
最高速度 mm/sec 40(セッパモータ)、80(サーボモータ
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