- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- XY軸配置システム
- IntelLiDrives, Inc.
大開口配置システム XY-OF-S300x300-A300x300JXY軸リニアウェハー検査および計測学用
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特徴
- 軸の数
- XY軸
- 構造
- リニア
- 応用
- 工業用, ウェハー検査および計測学用, 研究用, クリーンルーム用, 光応用, ウェハー運搬用, プリント回路用, スキャナー用, テスト用
- その他の特徴
- コンパクト, 高精度, リニアモータ駆動, 高解像度, サーボ制御, ステッピングモーター付き, サーボモータ, 高速, 大開口, リードスクリュー
- 繰返し精度
5 µm
- 積載量
30 kg
(66.14 lb)- ストローク
300 mm
(11.81 in)- 速度
40 mm/s, 80 mm/s
詳細
オープンフレームXYステージは、顕微鏡を使用した幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、クリアで邪魔にならない2軸開口部を提供します。
オープンフレーム 300x300 mm XYステージの全ストロークにわたって開口部が確保されています。
モデル - ユニット
XY-OF-S300x300-A300x300J
XYストローク - mm - 300x300
スクリューリード - 4 mm
開口部 - mm - 300x300 移動範囲全体にわたって遮るものなし
テーブルトップ - mm - 400x400
高さ - mm - 140
バックラッシ - ミクロン - 5
分解能（平行移動） - ミクロン - 1
モーター NEMA17
ステッパー、ステッパー/エンコーダー、サーボ/エンコーダー
繰り返し精度 - ミクロン - 5
負荷容量 - kg - 30
テーブル重量 - kg - 45
最高速度 - mm/sec サーボモーター使用時 80 ステッピングモーター使用時 40
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