- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- XY軸ポジショニングステージ
- IntelLiDrives, Inc.
XY軸ポジショニングステージ XY-OF-100x100J-MLVT-25J-RTLA-30-100HJ回転電動式2軸
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特徴
- 方向
- XY軸, 回転
- タイプ
- 電動式
- 軸の数
- 2軸, 3軸
- その他の特徴
- 高精度, コンパクト, 小型, 顕微鏡, 高速, ウェハー運搬用, 自動, 制御機付, スリム
- ストローク
最大: 600 mm
(23.622 in)200 mm
(7.874 in)最少: 50 mm
(1.969 in)- 速度
100 m/s
(328.08 ft/s)- 繰返し精度
最大: 5 µm
2 µm
最少: 1 µm
- 積載量
最大: 50 kg
(110.23 lb)10 kg
(22.05 lb)最少: 1 kg
(2.2 lb)
詳細
XYボールネジ駆動オープンフレームXYステージとリフトMLVTステージ、コンパクトウォームギア回転RTLAテーブルの組み合わせ
- XYストローク 100mm～300mm
- リフト量 12mm～25mm
- 無制限回転
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