- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- 多軸配置システム
- IntelLiDrives, Inc.
大開口配置システム F-S300x300-A300x300J2軸多軸門型
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特徴
- 軸の数
- 多軸, 2軸
- 構造
- リニア, 横型, 門型, 光学
- 応用
- ウェハー検査および計測学用, ロボット用, 研究用, 半導体産業用, クリーンルーム用, ウェハー運搬用, 製薬産業用, スキャナー用, テスト用
- その他の特徴
- DCモーター, コンパクト, ボールねじ, 高精度, リニアモータ駆動, 高解像度, 精密, サーボ制御, ステッピングモーター付き, USB, プラグ アンド プレイ, 大開口, 制御機付
- 繰返し精度
1 µm
- 積載量
30 kg
(66.14 lb)- ストローク
300 mm
(11.81 in)最大: 600 mm
(23.62 in)最少: 100 mm
(3.94 in)- 速度
100,000 mm/s
(328.08 ft/s)最大: 200 mm/s
最少: 10 mm/s
詳細
オープンフレームXYステージは、顕微鏡をベースとしたアプリケーションにおける幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、遮るもののないクリアな2軸開口部を提供します。
トラベル 300x300 mm ～ $ 600x600 mm
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