プログラム可能な真空リフローはんだ付け・ろう付け炉で、加熱面積は260x210mmです。
ツールプレートの下(または上)に設置された赤外線ランプがツールプレートを加熱します。260x210mmの長方形のツーリングプレートは、任意の素材で製作でき、内部に固定具用の開口部を設けることもできます。ツールプレートを部品と一緒にチャンバー内に入れることができるので、連続生産に適しています。
プロセス冷却は、チャンバー底部からツールプレートに吹き付ける窒素フローによって行われます。チャンバー自体は水冷式です。マウントラックMR23CPと一緒にご注文いただかない場合は、外付けのウォーターチラーが必要です。
プロセス環境 - 窒素、不活性ガス、ギ酸、フォーミングガス
最高温度 - 650°C
加熱エリア - 260 x 210 mm
熱盤-取り外し可能:グラファイト、アルミニウムなど
熱盤上のクリアランス - シングルの場合50mm / ダブルの場合60mm
昇温/降温速度 - 250°C/min
制御偏差 - +/- 0.5°C
発熱体 - 1列または2列の8x/16x赤外線加熱ランプ
加熱制御 - 各加熱ランプごとに個別/調整可能
加熱プレートの冷却 - 窒素フロー
温度計測 - 最大4本のK型熱電対を自由に配置可能
圧力測定 - 内蔵圧力トランスミッタ
最大真空度 - 5x10-2mbar
ギ酸バブラー - 40ml容器、フロントパネルに内蔵
チャンバー本体の冷却 - 水/エチレングリコール混合液
蓋の開口部 - 80 mm / 二重加熱時は使用不可
ディスプレイ - 7インチLCD(タッチスクリーン付き
PCソフトウェア - プロセスの記録、レシピの転送など
ユーザーインターフェース - リレーI/Oによるリモートコントロール
寸法 - レイアウト参照
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