スカラロボット IWH Series 1

ウェハー運搬用

シリーズ1ロボットはウエハ搬送用に設計されています。モジュラーシステムにより、Zストローク7 "から21 "までの様々なベースボディと、10.5 "から28 "までの多数の異なるアームモジュールの組み合わせが可能です。また、適切な軸の組み合わせにより、最大3kgまでのハンドリングが可能です。 特徴 -優れた構造剛性 -最高の信頼性と精度 -トップマウント(TA)またはボトムマウント(BA)バージョンをご用意 -カスタマイズ設計 -アブソリュートまたはインクリメンタルエンコーダー -プリアライナ、リニアトラック、その他の周辺機器とのシームレスな統合 -スタンダード "または "アドバンスド "ハード＆ソフトウェアを含む -ISO 1クリーンルーム環境対応 -ドイツ製