IWHシリーズ3、2リンク・デュアルアーム・ボディ・シリーズ3
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当社のウエハハンドラーロボットは、アプリケーションのスループットを向上させる可能性を秘めています。独立した2本のアームにより、ステーション上のウェーハを非常に迅速に交換することができるため、エンプティランを防ぐことができます。
特性を備えています:
-優れた構造剛性
-300mmまでのウェーハハンドリング
-最高の信頼性と精度
-リニアトラックとロボットコントローラの簡単な接続
-スムーズな動作
-バックラッシュのないハーモニックドライブギア
-アブソリュート、インクリメンタルエンコーダまたはレゾルバ
-2チャンネル真空ディスプレイ内蔵
-スタンダード "または "アドバンス "コントローラとソフトウェアを含む
-ISO 1クリーンルーム環境対応
-MTBF:> 50,000動作時間
-ドイツ製
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