ふいご式ポンプ CFD 水アンモニア用水素用
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特徴
- 技術
- ふいご式
- 流体
- 水, アンモニア用, 水素用
- 駆動
- 電動
- 移動性
- 据え置き型
- 分野
- 化学, 半導体産業用
- 用途
- ハンドリング用, 高圧, 計量, 配水, 精密用途
- 材質
- PTFE, PFA製
- 保護レベル
- 耐薬品性
- 圧力
最大: 0.3 MPa
最少: 0.05 MPa
- 流体温度
最大: 60 °C
(140 °F)最少: 20 °C
(68 °F)- 重量
1.1 kg, 1.2 kg, 1.5 kg
(2.43 lb, 2.65 lb, 3.31 lb)
詳細
この化学液分配ポンプ（CFD）は、高純度のウェーハ液体を処理するように設計されています。 アンモニア水や過酸化水素のような高蒸気圧の化学物質も移送することができます。
フッ素プラスチックの使用により、高純度と優れた耐薬品性が確保されます。 ストローク速度に加えて、ストローク長の設定は広い範囲をカバーします。 粒子の蓄積は、PFAホース接続によって回避されます。
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