スラリーポンプ FW / FW-H

空圧ふいご式据え置き型

厚いベローズを採用することで、最大0.45MPaという高い圧力下での液体を吐出することができます。また、ベローズはダイヤフラムの3～4倍の長寿命です。そのため、ダウンタイムを大幅に短縮することができます。 薬液の送液用途のほか、洗浄装置やCMPスラリー液の循環に使用できる中圧・高圧（10～100℃）仕様のFWシリーズ、洗浄装置での循環ポンプとして使用できる高圧・高温（10～180℃）仕様のFW-Hシリーズがあります。 吸込・吐出の継手部分はPFAチューブラー構造で一体成型されています。これにより、パーティクルの堆積を防ぎ、市販のジョイントを使用することができます。 専用コントローラーと接続することで、吐出量の制御や監視が容易に行えます。