電動式ディスペンサ SB

縦型横型コンパクト

空圧駆動ディスペンサー - フォトレジスト用途で半導体製造工程に最適です。 SBシリーズの特徴 高精度 SB シリーズは、フォトレジストなどの薬液を高精度に計量・吐出するディスペンサーです。1ショット当たりの吐出量が非常に正確で、最適な量のフォトレジストを塗布することができます。オプションのサックバックを使用することで、注入ノズルからの液ダレを防止します。また、ベローズ内にデッドボリュームがほとんどないため、液ダレの可能性が低くなります。 シールレス、超低速シリンダー設計のため、空気の混入が少なく、低速でのフォトレジスト塗布が可能です。 ステンレス/フッ素ウェットエンド ステンレス製（SUS304）とフッ素製（PTFE/PFA）のウェットエンドがあり、異なる液体に対応し、良好な耐腐食性とコンタミネーションのない吐出が可能です。高解像度・高純度フォトレジストの送液に最適です。 軽量・コンパクト設計 ポンプは縦・横両方向に取り付け可能（SB-4K/-5/-6を除く）なので、最適なシステム構成が可能で、限られた設置スペースに収まるコンパクトな設計です。 また、吐出量を微調整するメカニカルストッパーや、シリンダー内のピストンの正しい動きを保証する位置検出器もオプションで用意されています。