ふいご式ポンプ FS-H

スラリー空圧据え置き型

ストロークの高速化 ポンプストロークの高速化（最大240spm）により、ポンプの小型・軽量化、製造コストの低減、脈動の低減を実現しました。 注）ポンプストロークは機種により異なります。 コンタミフリー設計 接液部にはすべてフッ素樹脂を採用。ポンプは金属部分が露出しないように設計されています。また、外装もフッ素樹脂でコーティングされています。独自開発の軸封（特許出願中）を採用し、パーティクルの発生を著しく低減する効果があります。 幅広い液温に対応 高圧吐出 液温5～180℃、吐出圧力0.45MPaまで対応可能なため、洗浄工程やCMP工程だけでなく、薬液の送液にも使用可能です。 メンテナンス性 ポンプを分解することなく近接スイッチの交換が可能で、スタッドボルトの定期的な締め付けが不要なため、ダウンタイムの低減につながります。 センサードライブ方式 ポンプは、内部に組み込まれた近接スイッチによりソレノイドを開閉するセンサー駆動方式を採用しています。そのため、各種コントローラと接続することで、吐出量の制御・管理を容易に行うことができます。