ふいご式ポンプ FS-100HT2

酸空圧据え置き型

洗浄効率の向上 循環流量の増加により、ウェーハ上のパーティクルや金属汚染の除去など、洗浄効率が向上します。また、循環流量の増加により、処理ライン数の増加に伴う洗浄時間の短縮が図れます。 コンタミフリー ウェットエンドにフッ素樹脂（PTFE、PFA）を採用するとともに、ポンプ外周にフッ素コーティングを施すことにより、半導体製造に用いられる酸、アルカリ、過酸化水素などの化学物質による蒸気に対して優れた耐性を備えています。 設置面積の削減 ウェットエンドにフッ素樹脂（PTFE、PFA）を採用し、ポンプ外周にフッ素コーティングを施すことにより、半導体製造に使用される酸、アルカリ、過酸化水素の蒸気に対して優れた耐性を発揮します。 軽量化 設計の最適化により、従来の80〜100Lの機種に比べ約15％の軽量化を実現し、設置・交換作業を容易にしました。