化学製品ポンプ FS-N

空気式磁気駆動式ふいご式

高速ストローク 高速ストローク（Max.200spm：FS-80N）により、小型・軽量・低コストを実現しながら、高流量・高耐圧を可能にしたポンプです。 コンタミレス ウェットエンドにフッ素樹脂を採用し、コンタミレス構造を実現しました。また、独自のシャフトシールを採用し、パーティクルの発生を大幅に低減しました（特許取得済み：FS-80N）。 大流量・高圧力対応 最大供給エア圧力0.7MPaは、薬液供給工程だけでなく、洗浄・CMP工程での大流量・高圧力化にも対応します。 センサー駆動 近接センサーを内蔵し、電磁弁の開閉を行います。当社コントローラとの組み合わせにより、流量制御を確実に、かつ容易に行うことができます。