分光学エリプソメータ theta-SE

theta-SEは、薄膜の均一性を評価するためのプッシュボタン式の分光エリプソメーターです。高度なエリプソメトリー装置をコンパクトなパッケージに収め、お求めやすい価格で提供しています。 完全な統合 Theta-SEは、300mmのサンプルマッピング、小スポット測定ビーム、高速サンプルアライメント、ルックダウンカメラ、そして最新のデュアルローテーションエリプソメーター技術を備えています。Theta-SEには、膜厚や光学特性の空間的均一性を測定するために必要なすべての機能が備わっています。 高速性 高速ポイント・ツー・ポイント移動、高速サンプル・アライメント、デュアル・ローテーション・エリプソメーター技術による連続データ収集により、サンプル・スループットが最適化されています。 コンパクト 特許取得済みのデュアルシータ回転ステージにより、テーブルトップ型の小型装置で300mmのフルマッピングを実現しました。装置のフットプリントは、300mmウェーハよりわずかに大きいだけです。 ユーザーフレンドリー 自動データ解析機能とレポート機能を搭載しているので、プッシュボタンで操作でき、測定結果をすぐに確認できます。 手頃な価格 theta-SEは、分光エリプソメトリと300mmユニフォミティマッピングのパワーをリーズナブルな価格で提供します。