分光学エリプソメータ VASE series

VASE®は、半導体、誘電体、ポリマー、金属、多層膜など、あらゆる種類の材料の研究に使用できる、高精度で汎用性の高いエリプソメーターです。193～3200nmという広い波長範囲で、高い精度と正確さを兼ね備えています。波長と入射角を変えることで、以下のような柔軟な測定が可能です。 - 反射および透過エリプソメトリ - 一般的なエリプソメトリー（異方性、リターダンス、複屈折 - 反射率(R)および透過率(T)強度 - クロス偏光R/T - 脱分極 - 散乱計 - ミューラー・マトリックス(Mueller-matrix) 最高のデータ精度 VASEには、回転式アナライザーエリプソメーター（RAE）と特許取得済みのAutoRetarder®が搭載されており、比類のないデータ精度を実現しています。 高精度な波長選択 スキャニングモノクロメーターは、分光エリプソメトリー用に特別に設計されています。スピード、波長精度、光のスループットを最適化するとともに、波長の選択とスペクトルの分解能を自動的に制御します。 フレキシブルな測定 VASEは、垂直なサンプルマウントを備えており、反射、透過、散乱を含む多様な測定ジオメトリーに対応します。 オートリターダ®テクノロジー 回転型アナライザーエリプソメーター（RAE）は、Ψ/Δデータが豊富に含まれる「ブリュースター」条件付近でデータ精度を最大限に高めます。しかし、この領域はシグナルの少ないサンプルには限界があります。特許取得済みのAutoRetarderは、コンピュータ制御の波長板で、光ビームの偏光をサンプルに到達する前に変更します。これにより、どのようなサンプルでも、どのような条件でも、最適な測定条件を得ることができます。 AutoRetarderは正確に測定します。 - フルレンジでΨとΔを正確に測定します