分光学エリプソメータ IR-VASE

IR-VASE®は、FTIR分光法の化学的感度と分光エリプソメトリーの薄膜感度を組み合わせた、最初で唯一の分光エリプソメトリー装置です。IR-VASEは、1.7～30ミクロン（333～5900波数）の広いスペクトル範囲をカバーしています。IR-VASEは、1.7～30ミクロン（333～5900波数）の広いスペクトルをカバーし、研究や産業における薄膜やバルク材料の特性評価に使用されます。この急速に成長している技術は、光学コーティング、半導体、生物学、化学の各業界や研究所で使用されています。 広いスペクトル範囲 近赤外から遠赤外までをカバー 1.7～30ミクロン (333～5900波数) 分解能：1cm-1～64cm-1 極薄フィルムへの高い感度 分光エリプソメトリのデータには、反射光や透過光の「位相」と「振幅」の情報が含まれています。赤外エリプソメトリーの位相情報は、FTIRの反射／吸光に比べて、化学組成に対する感度を維持したまま、超薄膜に対する高い感度を実現します。 非破壊検査 IR-VASEは、様々な材料の特性を非接触、非破壊で測定することができます。測定には真空を必要とせず、生物学や化学の分野でよく見られる液体/固体の界面の研究にも使用できます。 ベースラインやリファレンスサンプルが不要 エリプソメトリーは、精度を維持するための基準となるサンプルを必要としない自己参照技術です。ビーム全体を収集する必要がないため、ビーム径よりも小さなサンプルを測定することができます。 高精度な測定 特許取得済みの校正およびデータ収集手順により、装置の全範囲にわたってΨおよびΔの正確な測定が可能です。