分光学エリプソメータ VUV-VASE series

VUV-VASE®可変角度分光エリプソメーターは、リソグラフィー薄膜の光学的特性評価のゴールドスタンダードです。真空紫外（VUV）から近赤外（NIR）までの波長を測定できます。これにより、半導体、誘電体、ポリマー、金属、多層膜、そして浸漬液などの液体など、さまざまな材料の特性評価に驚くほどの多様性をもたらします。 幅広いスペクトルレンジ VUV-VASEは、140nm以下から1700nmまでの波長をカバーしています。 高精度 VUV-VASEは、特許取得済みのAutoRetarder®を使用することで、あらゆるサンプルの測定において精度を保証します。 便利なサンプルローディング 特別な設計により、システムパージを汚染することなく、迅速で効率的なサンプルローディングが可能です。 サンプルの保護 モノクロメーターをサンプルの前に配置することで、感光材料の露出を抑えます。