RC2®のデザインは、25年の経験に基づいています。RC2®のデザインは、25年の経験に基づいており、従来のモデルの最良の特徴と革新的な新技術を組み合わせています:二重回転補正器、アクロマート補正器のデザイン、先進的な光源、次世代分光器のデザイン。RC2は、分光エリプソメトリーの多様なアプリケーションに対応する、ほぼユニバーサルなソリューションです。
高度な測定能力
RC2は、ミューラー・マトリックスの16要素すべてを収集する最初の商用分光エリプソメーターです。ミュラーマトリックスSEは、最先端のサンプルやナノ構造の特性評価を可能にします。
最高の測定精度
先進的な測定機能により、高速CCDベースのエリプソメトリで最高の精度を実現しています。
デュアルローテーションコンペンセーター
2枚のコンペンセータを同期回転させることで、高精度、高速、完全なミューラーマトリクス測定を実現しました。
アクロマティックコンペンセーターデザイン※1
新設計のアクロマティックコンペンセーターにより、広いスペクトルレンジで最適なパフォーマンスを実現。 *特許出願中
広いスペクトル領域
紫外から近赤外まで、1000以上の波長を同時に収集。
速い測定速度
両補正器の同期動作により、光学素子のゾーンアベレージを待たずに高精度なデータが得られます。1,000波長以上の全スペクトルを瞬時に収集します。
先進の「デュアル」光源
コンピューターでビーム強度を制御することで、幅広いスペクトル領域をカバーするデュアルライトソース。どのようなサンプル(低反射または高反射)でも信号を自動的に最適化します。
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